靜電油霧凈化器的凈化原理過程分為四部分

 　　靜電油霧凈化器采用機械分離和靜電沉積技術。機械分離是使含油霧的氣體與特制的擋板濾網撞擊或者急劇的改變氣流方向，利用慣性力分離并捕集油氣，將進入凈化設備的含油氣體中的大顆粒油滴或水滴過濾。它用于油霧凈化設備靜電場的前級除油氣，能去除5-20μm以上的粗微塵。靜電沉積技術是利用電力進行收集油霧的裝置，它涉及到電暈放電、氣體電離和油霧塵粒荷電、荷電油霧塵粒的遷移與捕集、油霧清除等過程。
 
　　凈化原理：
　　前置過濾：采用高拋光漩渦式過濾和不銹鋼絲網過濾兩部分組成，能夠過濾絕大部分大顆粒油霧，可根據現場油霧種類和濃度選擇不同配置。
 
　　電離段：高壓電極絲和電極板間形成電場，將小顆粒油霧進行電離，使其帶電。
 
　　收集段：帶電的顆粒吸附到電極板上，匯集成油滴后沿光滑的電極板表面流到回收槽中。
 
　　后置過濾：加強凈化效率，可根據現場需要配置高效過濾器或活性炭過濾器。
 
　　靜電油霧凈化器在油霧凈化設備中的電場箱中，兩個曲率半徑相差很大的金屬陽極和陰極上，通以高壓直流電，在兩極間維持一個足以使氣體電離的靜電場，氣體電離后所產生的電子、陰離子或陽離子附著在通過電場的油霧塵粒上，使油霧塵粒帶電。荷電油霧塵粒在電場力的作用下，便向極性相反的電極運動，從而沉積在集塵電極上，凝聚成油滴和水滴，從而使油、水和氣體分離。附著在集塵電極板上的乳化液和水分，因重力作用流到油霧凈化設備下部的集油槽內。